特許

J-GLOBAL ID：200903077392776689

マーク検知装置、マーク検知方法、及び露光装置、露光方法、並びにデバイス、デバイス製造方法

発明者： 金谷 有歩
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 前田 均 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-015765
公開番号（公開出願番号）：特開2001-210577
出願日： 2000年01月25日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】 検知範囲内に複数のマークが存在する場合であっても、検知すべきマークの特定を正確に行うことができて高い精度でマークの位置情報を検知することができるマーク検知装置及びマーク検知方法を提供し、当該装置及び方法によって得られたマークの位置情報を用いて物体の位置合わせを行って露光処理を行う露光装置及び露光方法を提供するとともに、当該露光装置及び露光方法を用いて製造されるデバイス及びその製造方法を提供する。【解決手段】 ウェハ上に形成された検出すべきマークの画像及びこのマークの周辺の画像を含む周辺テンプレートデータを記憶するテンプレートデータ記憶部51と、ウェハ上を撮像するイメージセンサ40とを備え、データ処理部54はイメージセンサ40で撮像された実画像データと、周辺テンプレートデータとを比較する。

請求項（抜粋）：

物体上に形成された検出すべきマークの画像及び該マークの周辺の画像を含む周辺テンプレートデータを記憶する記憶手段と、前記物体上を光電検出して実測データを得る検出手段と、前記検出手段で検出された実測データと、前記周辺テンプレートデータとを比較する比較手段とを有することを特徴とするマーク検知装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 525 E ,  H01L 21/30 525 W ,  H01L 21/30 525 X

Fターム (23件)：

5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC06 ,  5F046CC16 ,  5F046DA07 ,  5F046EA03 ,  5F046EA04 ,  5F046EA09 ,  5F046EB01 ,  5F046EB03 ,  5F046ED05 ,  5F046FA03 ,  5F046FA05 ,  5F046FA10 ,  5F046FA16 ,  5F046FA17 ,  5F046FA20 ,  5F046FC04 ,  5F046FC05 ,  5F046FC10