特許

J-GLOBAL ID：200903077395338372

コンフォーカル顕微鏡

発明者： 大出 孝博 ,  粟村 大吉
出願人/特許権者： レーザーテック株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-254559
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104523
出願日： 1996年09月26日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】 特に低倍率の対物レンズを使用したコンフォーカル顕微鏡において、レンズが本来有しているNAを最大限有効に使用して高分解能の画像形成が可能であるとともにスリットを用いる際のシェージングの問題をも解決する。【解決手段】 光源31から放射される光を、入射端32aを結束し、出射端32bをライン状に配列したファイバ束32を介してスリット33に入射させ、このスリットの像をコンフォーカル光学系16, 19, 21, 23および前記スリットと直交する方向に偏向する走査ミラー18を介して試料22上に投影し、試料からの反射光を走査ミラーを経て1次元リニアイメージセンサアレイ24に入射させる。スリット33を使用するので、対物レンズ21一杯に光が入射し、したがって実効的なNAが小さくならず、広い視野に亘って高分解能の画像が得られる。また、ファイバ束32の出射端32bはスリット33の形状に対応してライン状となっているので、スリットを通過する光量は均一となり、シェージングは発生しない。

請求項（抜粋）：

光源装置と、多数のファイバを有し、その一端を前記光源から発する光を受けるように結束して入射端とし、この光をライン状の光として射出するように他端をライン状に配列して出射端としたファイバー束と、このファイバー束の出射端から出射される光を制限するスリットと、このスリットと共役な位置に置かれた試料上にライン状の輝線を結像し、試料からの反射光または透過光を予定の結像面に結像する対物レンズを含むコンフォーカル光学系と、このコンフォーカル光学系の光路内に挿入され、前記スリットで制限された光を、その長手方向と直交する方向に偏向する偏向装置と、前記コンフォーカル光学系によって結像される試料像を受けるように前記予定の結像面に配置された1次元イメージセンサアレイと、この1次元イメージセンサアレイからの出力信号を処理して画像信号を出力する画像処理回路と、この画像処理回路から出力される画像信号を、前記スリットの延在方向を主走査方向とし、前記偏向装置による偏向方向を副走査方向として表示する表示手段とを具えることを特徴とするコンフォーカル顕微鏡。

IPC (2件)：

G02B 21/00 ,  G02B 21/02

FI (2件)：

G02B 21/00 ,  G02B 21/02 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特表平5-506318
  
• 検出光学系並びに立体形状検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-134668   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平3-021913