特許

J-GLOBAL ID：200903077396166923

切削装置のブレードカバー

発明者： 波岡 伸一
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-122971
公開番号（公開出願番号）：特開平8-290420
出願日： 1995年04月25日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】 前部カバーを外すことなく、且つ接触によりブレードを損傷させることなく回転ブレードの交換が容易に出来るようにした、切削装置のブレードカバーを提供する。【構成】 半導体ウェーハ等を切削する切削装置のブレードカバーにおいて、このブレードカバーは前部カバーと、後部カバーとから構成され、前部カバーは開状態と閉状態とに位置付けられるように形成する。前部カバー、後部カバーの下部にはブレードを挟持するように切削液供給ノズルが配設される。後部カバーには旋回軸が形成され、前部カバーはその旋回軸を中心に開状態と閉状態とに位置付けられる。旋回軸は中空となっており、前部カバーの切削液供給ノズルに切削液が供給される。

請求項（抜粋）：

半導体ウェーハ等を切削する切削装置のブレードカバーにおいて、このブレードカバーは前部カバーと、後部カバーとから構成され、前部カバーは開状態と閉状態とに位置付けられる、切削装置のブレードカバー。

IPC (3件)：

B28D 5/02 ,  B23Q 11/08 ,  H01L 21/304 311

FI (3件)：

B28D 5/02 A ,  B23Q 11/08 Z ,  H01L 21/304 311 S

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 丸鋸の冷却装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-058840   出願人：株式会社山名製作所
• ブレードカバー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-090770   出願人：株式会社ディスコ