特許
J-GLOBAL ID：200903077398283269
移送装置及びこれを用いた搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-079138
公開番号（公開出願番号）：特開平9-237820
出願日： 1996年04月01日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【課題】 ダストの発生や、このダストがワークに付着することを極力防止しつつ直線的な搬送を可能にし、かつ、搬送姿勢の変化のない搬送装置を提供することを解決すべき課題とする。【解決手段】 搬送路Tに、移載装置38と受け渡し機構40とを交互に所定間隔をおいて配置する。上記移送機構は、一対の平行リンク44、46と、一方の平行リンク44を揺動させる駆動装置45と、上記一方の平行リンク44の揺動動作を他方の平行リンク46へ伝達する伸縮角度伝達装置47とによって構成されている。また、上記受け渡し機構は、ワークWが載置される昇降板54と、この昇降板を上記移送機構のホルダの移動経路を上下方向に横切るように昇降させる駆動手段56とによって構成されている。
請求項（抜粋）：
一対の平行リンクと、これら一対の平行リンクの内の一方の平行リンクを揺動させる駆動装置と、前記一方の平行リンクと前記他方の平行リンクとの間に設けられて、前記一方の平行リンクの揺動動作を前記他方の平行リンクへ伝達する伸縮角度伝達装置とから構成されていることを特徴とする移送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 D
