特許

J-GLOBAL ID：200903077403436834

ウェーハ研磨装置

発明者： 藤田 隆
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-378830
公開番号（公開出願番号）：特開2003-179014
出願日： 2001年12月12日
公開日（公表日）： 2003年06月27日
要約：

【要約】【課題】保護シートの伸びを修正でき、研磨品質を維持できるウェーハ研磨装置を提供する。【解決手段】 ウェーハ保持ヘッドに設けられたホルダ50にリテーナーリング28を取り付けるとともに、リテーナーリングの内側に保護シート52を張設し、保護シートを介してウェーハWを研磨パッド20に押し付けて研磨するウェーハ研磨装置に関する。保護シート52の外周縁部分がリテーナーリング28とホルダ50とで挟持されるとともに、該挟持部の内周側に保護シート52の張力調整手段78が設けられる。張力調整手段78により張設された保護シート52の張力を可変とする。

請求項（抜粋）：

ウェーハ保持ヘッドに設けられたホルダにリテーナーリングを取り付けるとともに、該リテーナーリングの内側に保護シートを張設し、該保護シートを介してウェーハを研磨パッドに押し付けて研磨するウェーハ研磨装置において、前記保護シートの外周縁部分が前記リテーナーリングと前記ホルダとで挟持されるとともに、該挟持部の内周側に保護シートの張力調整手段が設けられており、該張力調整手段により張設された保護シートの張力が可変となっていることを特徴とするウェーハ研磨装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 622 ,  B24B 37/04

FI (2件)：

H01L 21/304 622 G ,  B24B 37/04 H

Fターム (5件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB04 ,  3C058DA13 ,  3C058DA17