特許
J-GLOBAL ID：200903077410106874
高密度液化ガスを使用の洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 一豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-252962
公開番号（公開出願番号）：特開平10-094766
出願日： 1996年09月25日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】 高密度液化ガスを使用の洗浄装置の欠点を解消する。【解決手段】 高密度液化ガスの閉じられた再循環システムにおいて、耐圧洗浄器1には複数の前洗浄用ノズル3と圧縮液体5膨張用の低圧室10と音波発生装置12、回転翼11の強制攪拌装置を配設してバブリングを伴う強力洗浄を達成し、洗浄処理液を受け取る耐圧回収容器14は洗浄器1よりも下位に位置されて着脱自在に組付くドレンボンベ16を垂下設すると共に、温度調節器15を内蔵して該前洗浄の汚染液を分室機能で直ちに耐圧洗浄室より受け取れるものとし、さらに、上位の高密度液化ガス供給シリンダー18と気相連絡させて、その温度調節器15による気化で溶媒分離搬送をなすと共に汚染物沈澱濃縮液を該ドレンボンベ16を介して排除するとして、高効率洗浄、高圧発生装置不要の出費項目低減化を実現した。
請求項（抜粋）：
被洗浄物を収納する洗浄カゴを器内空中に支持し当該被洗浄物へ圧縮液体を直射噴霧する複数のノズルと器上部に接続の低圧室とを備え、器底に回転翼と器側壁に当該回転翼に指向した音波発生装置とからなる攪拌装置を設けた耐圧洗浄器と、該耐圧洗浄器よりも低い位置に設置の温度調節手段を備えると共に着脱自在に組付くドレンボンベを垂下設の洗浄処理後の洗浄液体を受け入れるための耐圧洗浄器の分室としての耐圧回収容器と、該耐圧洗浄器よりも高い位置に設置の温度調節手段を備えると共に該耐圧容器上部ガスを受け入れるために耐圧回収容器との間の上部間を連絡の貯蔵手段としての高密度液化ガス供給シリンダーと、該高密度液化ガス供給シリンダーと耐圧洗浄器との間の液送管途中に接続のエントレーナ容器とから閉じられた再循環システムが構成され、これ等各圧縮液体送受容器間の上部間を互いの上部ガスが連通し得るよう連絡して成るとしたことを特徴とする高密度液化ガスを使用の洗浄装置。
IPC (4件)：
B08B 3/02
, B08B 3/08
, B08B 3/12
, H01L 21/304 341
B08B 3/02 A
, B08B 3/08 Z
, B08B 3/12 A
, H01L 21/304 341 M
