特許
J-GLOBAL ID:200903077412403566
狭帯域化面発光レーザ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
本庄 伸介
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-104529
公開番号(公開出願番号):特開平6-314846
出願日: 1993年04月30日
公開日(公表日): 1994年11月08日
要約:
【要約】【目的】従来の構造の面発光レーザにおいては、共振器自体で発振線幅の狭帯域化することは容易ではない。本発明の目的は、簡単な構造で狭帯域化面発光レーザを提供することにある。【構成】p型半導体多層膜3およびn型半導体多層膜7が面発光レーザ発振器におけるレーザ共振器の一対の反射鏡を構成している。一対の半導体多層膜の間に活性層5を配置している。一対の半導体多層膜を反射鏡とする主共振器13を有する面発光レーザ発振器が半導体基板上に積層され、面発光レーザをなしている。光学的平面性のよい基板裏面に高反射膜コーティング層12を設け、多層膜7と層12とで外部共振器14をなし、外部共振器14と主共振器13とで複合共振器を構成している。
請求項(抜粋):
半導体基板の表面上に半導体積層構造を形成してなり、該半導体積層構造が、一対の半導体多層膜を反射鏡とする共振器と、前記一対の半導体多層膜の間に配置された活性層とを備えて面発光レーザ発振器を構成しており、前記基板の裏面からレーザ光を取り出す面発光レーザにおいて、前記基板裏面に高反射膜コーティング層を設け、前記一対の半導体多層膜と前記高反射膜コーティング層とで複合共振器を構成していることを特徴とする面発光レーザ。
引用特許:
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