特許

J-GLOBAL ID：200903077413245476

レーザ装置並びにこのレーザ装置を用いた露光装置及び方法

発明者： 古澤 明 ,  原田 昌樹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-170548
公開番号（公開出願番号）：特開2001-352116
出願日： 2000年06月07日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：

【要約】【課題】 露光装置等の光源として充分な出力と低コヒーレンスとを兼ね備えた紫外光を、安定して発生することができ、かつ小型でメインテナンスの容易な紫外レーザ装置及び露光装置を提供する。【解決手段】 レーザ光発生部には単一波長発振レーザを有し、更に光変調器及び時分割光分岐手段とを有し、前記光変調したパルス光を単一パルスごとに順次各チャネルへ分岐出力する。光増幅器はファイバー光増幅器を有し、前記分岐された各チャネルのレーザ光を各々増幅し出力する。この光増幅器の出力端は、ファイバー端を所望の数及び形状のバンドル状に束ねて構成する。このバンドル出力は、少なくとも一部分を-40°C以下に冷却する冷却装置を備えている波長変換部により波長変換され、所要波長の紫外レーザ光を得る。以上のような構成により、前記ファイバーバンドルを1バンドルとしたときには出力端は直径2mm以下となり、一対の非線形光学結晶で波長変換部を構成できる。

請求項（抜粋）：

赤外域から可視域までの波長範囲内で単一波長のレーザ光を発生させる単一波長発振レーザを有するレーザ光発生部と、前記レーザ光発生部によって発生されたレーザ光を増幅するファイバー光増幅器を有する光増幅器と、前記増幅されたレーザ光を非線形光学結晶を用いて紫外光に波長変換する波長変換部と、該波長変換部の少なくとも一部分を-40°C以下に冷却する冷却装置とを備え、単一波長の紫外光を発生することを特徴とするレーザ装置。

IPC (8件)：

H01S 3/06 ,  G02B 6/30 ,  G02F 1/37 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/042 ,  H01S 3/10 ,  H01S 5/12

FI (8件)：

H01S 3/06 B ,  G02B 6/30 ,  G02F 1/37 ,  G03F 7/20 502 ,  H01S 3/10 A ,  H01S 5/12 ,  H01L 21/30 515 B ,  H01S 3/04 L

Fターム (47件)：

2H037BA23 ,  2H037BA24 ,  2H037CA02 ,  2H037CA06 ,  2H037CA36 ,  2H097CA13 ,  2H097CA17 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002CA02 ,  2K002CA03 ,  2K002HA19 ,  2K002HA20 ,  2K002HA31 ,  5F046BA04 ,  5F046CA03 ,  5F046CA08 ,  5F046CB01 ,  5F046CB04 ,  5F046CB22 ,  5F046DA01 ,  5F072AB09 ,  5F072AK06 ,  5F072HH05 ,  5F072JJ04 ,  5F072JJ05 ,  5F072KK12 ,  5F072KK15 ,  5F072KK30 ,  5F072PP07 ,  5F072QQ02 ,  5F072RR05 ,  5F072SS06 ,  5F072TT01 ,  5F072TT12 ,  5F072YY09 ,  5F073AA64 ,  5F073AB23 ,  5F073AB28 ,  5F073BA09 ,  5F073EA02 ,  5F073EA12 ,  5F073GA03 ,  5F073GA12