特許

J-GLOBAL ID：200903077421063468

θ-θスキャン型X線装置

発明者： 土性 明秀
出願人/特許権者： 理学電機株式会社
代理人 (1件)： 横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-314035
公開番号（公開出願番号）：特開平8-145917
出願日： 1994年11月24日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】 試料を中心としてX線源及びX線カウンタの両方を回転させる形式のθ-θスキャン型X線装置において、試料に伝わる振動を軽減して、特に液体試料に関するX線反射率測定を高精度に行うことができるようにする。【構成】 試料Sa を載せる試料支持台13と、試料支持台13上の試料Sa を中心としてθS 回転移動するX線源Sと、試料Sa を中心としてθd 回転移動するX線カウンタ3とを有するθ-θスキャン型X線装置である。X線源S及びX線カウンタ3を支持するゴニオフレーム5と、試料支持台13とを床11の上に別個独立に設置する。このような別個独立の構造により、θS 回転及びθd 回転等に起因して発生するゴニオフレーム5の振動が試料Sa に伝わるのを防止する。

請求項（抜粋）：

試料を載せる試料支持台と、試料支持台上の試料を中心として回転移動するX線源と、試料支持台上の試料を中心として回転移動するX線カウンタとを有するθ-θスキャン型X線装置において、X線源及びX線カウンタを支持するゴニオフレームと、上記試料支持台とを床上に別個独立に設置したことを特徴とするθ-θスキャン型X線装置。