特許
J-GLOBAL ID：200903077424185955
磁気記録媒体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-334686
公開番号（公開出願番号）：特開平5-166183
出願日： 1991年12月18日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：
【要約】【目的】 リング型磁気ヘッドを用いた磁気記録再生装置に適する磁気記録媒体の製造方法において、再生出力の高いものが得られる製造方法を提供する。【構成】 円筒状キャン3の円周面上を走行する非磁性基板1上にCo-O膜を連続蒸着法で形成する際、酸素導入管9より酸素を蒸発原子7の入射方向と平行に導入し、窒素導入管10より窒素を円筒状キャン3の円周方向と平行な方向に導入することにより、非磁性基板1の垂直方向から傾斜した方向に磁化容易軸方向を有するCo-O膜が得られ、リング型磁気ヘッドを用いたとき高い再生出力が得られる。
請求項（抜粋）：
円筒状キャンの円周面上を走行する非磁性基板上またはその非磁性基板上に形成された磁性層上にCoおよび酸素を主成分とする磁性膜を連続蒸着法により形成する際、蒸着部における蒸発原子の終期入射側近傍からその蒸発原子の入射方向とほぼ平行な方向に酸素ガスを導入し、窒素、Arのうち少なくとも一種類のガスを終期入射側近傍から前記円筒状キャンの円周方向とほぼ平行な方向に導入することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
IPC (2件)：
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