特許
J-GLOBAL ID：200903077427601763
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-206437
公開番号（公開出願番号）：特開平8-078302
出願日： 1994年08月31日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】【目的】露光装置において、ウェハのプリアライメント位置が、ウェハ搬送系との受け渡し時にずれることなく処理が実行され、露光作業の生産性向上を目的とする。【構成】ウェハ1を露光ステージ9に搬送するウェハ搬送アーム8上に、ウェハのプリアライメントを行う位置決めピン10a,10b及び位置合わせ機構11を設ける。これにより、プリアライメントされたウェハがウェハ搬送アーム8に受け渡されるときに生ずる位置ずれを防ぎ、安定したプリアライメント精度で、ウェハの露光作業を行うことができる。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハの位置合わせを行うプリアライメントステージと、前記ステージにて位置合わせを行った前記ウェハを露光ステージまで搬送するウェハ搬送手段とを備えた露光装置において、前記ウェハ搬送手段が、前記ウェハの位置合わせを行うアライメント機構を備えたことを特徴とする露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B65G 49/07
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68
H01L 21/30 520 A
, H01L 21/30 502 J
, H01L 21/30 503 Z
