はんだバンプ形成方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-145962
公開番号（公開出願番号）：特開平8-340001
出願日： 1995年06月13日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【目的】はんだバンプ形成方法及び装置に関し、窪みを有する板部材及びスキージを用いてはんだペーストを計量する際に板部材の表面にはんだペーストが付着したり、不正確に計量されるのを防止することができるようにすることを目的とする。【構成】はんだバンプ形成方法は、平坦な表面10aに複数の窪み12を有する板部材10を準備し、該板部材の表面に沿ってスキージ18を摺動させて前記表面に供給されたはんだペースト14を前記窪みに充填し、該板部材との間で摺動方向に向かってとった角度が鈍角となるように硬質のナイフエッジ22を該板部材の表面に沿って摺動させ、該板部材の表面に残留するはんだペーストを剥ぎ取り、該板部材10を加熱して各窪み12内のはんだペースト14中に含まれるはんだ粒子が溶融してはんだボール20を形成する構成とする。

請求項（抜粋）：

平坦な表面(10a)に複数の窪み(12)を有する板部材(10)を準備し、該板部材の表面に沿ってスキージ(18)を摺動させて前記表面に供給されたはんだペースト(14)を前記窪みに充填し、該板部材との間で摺動方向に向かってとった角度が鈍角となるように硬質のナイフエッジ(22)を該板部材の表面に沿って摺動させ、該板部材の表面に残留するはんだペーストを剥ぎ取り、該板部材(10)を加熱して各窪み(12)内のはんだペースト(14)中に含まれるはんだ粒子が溶融して表面張力により丸まったはんだボール(20)を形成することを特徴とするはんだバンプ形成方法。

IPC (2件)：

H01L 21/321 , H05K 3/34 505

FI (2件)：

H01L 21/92 604 H , H05K 3/34 505 A

前のページに戻る