ポリイミドフィルムの表面処理方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：楠本高義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-159343
公開番号（公開出願番号）：特開平8-003338
出願日： 1994年06月17日
公開日（公表日）： 1996年01月09日
要約：

【要約】【目的】極めて高い接着性向上効果を示すポリイミドフィルムの表面処理方法を提供することを目的とする。【構成】ポリイミドフィルムの表面に、不活性ガス雰囲気中でのプラズマ処理を行った後、続いて同一面に活性ガス雰囲気中でのプラズマ処理を施してポリイミドフィルムの表面処理を行った。その結果、ポリイミドフィルムに極めて高い接着性を付与することができた。

請求項（抜粋）：

ポリイミドフィルムの表面に、不活性ガス雰囲気中でのプラズマ処理を行った後、続いて同一面に活性ガス雰囲気中でのプラズマ処理を施すことを特徴とするポリイミドフィルムの表面処理方法。

IPC (3件)：

C08J 7/00 306 , C08J 7/00 CFG , C08L 79:08

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭57-040529
特開平2-023868
特開昭63-215737

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