特許
J-GLOBAL ID：200903077431690134
サイクロン
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-053524
公開番号（公開出願番号）：特開平7-256152
出願日： 1994年03月24日
公開日（公表日）： 1995年10月09日
要約：
【要約】【目的】 半導体製造工程で排出される処理ガスのように、処理ガス量が比較的少ない場合でも、該ガス中に含まれる粉粒体を確実に分離することができるサイクロンを提供する。【構成】 サイクロン1のガス導出口13から導出したガスの一部を、ガス導入口12に循環させる循環経路21及び送風機24を設ける。
請求項（抜粋）：
逆円錐状の本体の上部周壁に接線方向のガス導入口を、本体の上部中央にガス導出口を、本体の下端部に前記導入ガスから分離した粉粒体の排出口をそれぞれ備えたサイクロンにおいて、前記ガス導出口から導出したガスの一部を前記ガス導入口に循環させる循環経路及び送風機を設けたことを特徴とするサイクロン。
IPC (2件)：
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