基板搬送用ハンド及び基板搬送装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-353778
公開番号（公開出願番号）：特開平11-180554
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1999年07月06日
要約：

【要約】【課題】ガラス基板の自重による変形を極力抑えることができる基板搬送用ハンド及び基板搬送装置を提供する。【解決手段】薄板状の基板を載せて搬送するための水平に支持された平板状のハンドであって、溝状の複数の空気の流路17が形成された平板状のベース板16と、ベース板16上に配置され、空気の流路17に対応する位置に形成された複数の貫通穴27を有する天板26と、天板26上に配置され、複数の貫通穴27を覆うように配置された多孔質板15とを具備する。

請求項（抜粋）：

薄板状の基板を載せて搬送するための水平に支持された平板状のハンドであって、溝状の複数の空気の流路が形成された平板状のベース板と、該ベース板上に配置され、前記空気の流路に対応する位置に形成された複数の貫通穴を有する天板と、該天板上に配置され、前記複数の貫通穴を覆うように配置された多孔質板とを具備することを特徴とする基板搬送用ハンド。

IPC (3件)：

B65G 49/07 , B25J 15/06 , H01L 21/68

FI (3件)：

B65G 49/07 E , B25J 15/06 N , H01L 21/68 A

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