特許
J-GLOBAL ID：200903077432109699
電子顕微鏡用粉末試料保持材
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-200771
公開番号（公開出願番号）：特開平11-030575
出願日： 1997年07月10日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：
【要約】【課題】 粉末粒子の薄膜化過程において問題となる試料保持、固定用の粉末試料包埋剤の量を減少することによりFIB 加工に要する時間を短縮し、かつ確実に粉末粒子を保持することが可能な電子顕微鏡用粉末試料保持材の提供。【解決手段】 板状基盤の最端部に、前記板状基盤の板厚方向にわたって開口した粉末試料包埋剤保持用の凹部を有し、該凹部において粉末試料を包埋剤によって保持する、好ましくは集束イオンビーム加工による粉末粒子の薄膜化および透過電子顕微鏡観察に用いられる電子顕微鏡用粉末試料保持材。
請求項（抜粋）：
板状基盤の最端部に、前記板状基盤の板厚方向にわたって開口した粉末試料包埋剤保持用の凹部を有し、該凹部において粉末試料を包埋剤によって保持することを特徴とする電子顕微鏡用粉末試料保持材。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 1/28 W
, H01J 37/20 A
, G01N 1/28 F
