特許
J-GLOBAL ID：200903077438024474
磁気ヘッド装置の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 恵一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-152597
公開番号（公開出願番号）：特開平6-349040
出願日： 1993年06月01日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：
【要約】【目的】 スライダ加工を行う際の変形をできるだけ抑えることのできる磁気ヘッド装置の製造方法を提供する。【構成】 複数列で並ぶ磁気ヘッド素子11を薄膜集積技術によってウエハ10上に形成する工程と、形成された磁気ヘッド素子11の最外列12における磁気媒体と対向する側の側面13が露出するようにこのウエハ10を切断する工程と、ウエハ10のこの露出した側面13に溝14を加工して最外列12のスライダに関するレール部15を形成する工程と、ウエハ10のこの露出した側面13に、最外列12のスライダを個々に切り離すための溝16を形成する工程と、切り離し用溝16を形成した後、ウエハ10の最外列12を切断して個々のスライダ18の分離切り出しを行う切断工程とを備えている。
請求項（抜粋）：
複数列で並ぶ磁気ヘッド素子を薄膜集積技術によってウエハ上に形成する工程と、形成された磁気ヘッド素子の最外列における磁気媒体と対向する側の側面が露出するように前記ウエハを切断する工程と、ウエハの前記露出した側面に溝加工して前記最外列のスライダに関するレール部を形成する工程と、ウエハの前記露出した側面に、最外列のスライダを個々に切り離すための溝を形成する工程と、該切り離し用溝を形成した後、ウエハの最外列を切断して個々のスライダの分離切り出しを行う切断工程とを備えたことを特徴とする磁気ヘッド装置の製造方法。
IPC (4件)：
G11B 5/60
, G11B 5/31
, G11B 5/39
, G11B 21/21 101
