特許
J-GLOBAL ID:200903077441606670

ICP質量分析装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡田 和秀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-125138
公開番号(公開出願番号):特開平8-321278
出願日: 1995年05月24日
公開日(公表日): 1996年12月03日
要約:
【要約】【目的】 高度なノイズ対策を施さなくても、装置内部の高周波電源からの高周波ノイズの影響を受けないようにする。【構成】 プラズマトーチ1で発生したイオンを、インターフェース部3およびイオン収束部4を通じて、特定のイオンを検出するイオン検出部5に導入するようにしたICP質量分析装置において、装置内部の高周波電源6の周波数に同期したゲート信号を発生するゲート信号発生部21と、そのゲート信号により開閉動作するゲート回路22とを備えて、高周波電源6に起因して検出信号に含まれるノイズが、そのノイズと同じタイミングで開閉するゲート回路22で遮断されて、パルス計測されないようにした。
請求項(抜粋):
プラズマトーチと、このプラズマトーチで発生するイオンを導入するインターフェース部と、インターフェイス部を通過したイオンを収束するイオン収束部と、イオン収束部の後方で特定のイオンを検出するイオン検出部とを備えたICP質量分析装置において、装置内部の高周波電源のうち、少なくともプラズマトーチ用の高周波電源の周波数に同期したゲート信号を発生するゲート信号発生部と、このゲート信号発生部のゲート信号により開閉動作してイオン検出部の検出信号のパルス計測を制御するゲート回路とを有することを特徴とするICP質量分析装置。

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