特許

J-GLOBAL ID：200903077443010821

解像度可変の光走査装置

発明者： 坂井 照男
出願人/特許権者： 旭光学工業株式会社
代理人 (1件)： 松岡 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-353741
公開番号（公開出願番号）：特開2001-162863
出願日： 1999年12月13日
公開日（公表日）： 2001年06月19日
要約：

【要約】【課題】 解像度を変えるために光源、光偏向手段、制御回路を別々に備えることなく、装置をコンパクトにし、しかも任意の解像度で描画することのできる光走査装置及びそれを用いた露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の光走査装置は、一つのレーザビームを射出する光源と、前記レーザビームを複数のビームに分割するビーム分割手段と、描画データに基づいて複数のレーザビームをそれぞれ変調する光変調器と、前記変調されたビームを感光材上で主走査方向に偏向させるための走査光学系とを備え、前記光源と前記ビーム分割手段との間に、ビーム径を拡張するビーム拡張手段と、ビーム径を拡張されたビームのビーム径を絞る為の絞り板と、前記絞り板を動作させる絞り板制御手段とが備えられており、この絞り板制御手段によって、前記絞り板を動作させてビーム径を変更し、描画解像度を変更する。

請求項（抜粋）：

一つのレーザビームを射出する光源と、描画データに基づいてレーザビームを変調する光変調器と、前記変調されたビームを感光材上で主走査方向に偏向させるための走査光学系とを備え、前記光源と光変調器との間に、ビーム径を拡張するビーム拡張手段と、前記ビーム径を拡張されたビームのビーム径を絞る為の絞り板と、前記絞り板を動作させる絞り板制御手段とを備え、前記絞り板制御手段により、前記絞り板を動作させてビーム径を変更し、描画解像度を変更すること、を特徴とする光走査装置。

IPC (3件)：

B41J 2/44 ,  G02B 26/10 ,  G03F 7/20

FI (3件)：

G02B 26/10 D ,  G03F 7/20 ,  B41J 3/00 D

Fターム (21件)：

2C362AA21 ,  2C362AA34 ,  2C362BA67 ,  2C362CB03 ,  2C362CB71 ,  2C362DA06 ,  2H045AA01 ,  2H045AD01 ,  2H045BA02 ,  2H045BA26 ,  2H045BA36 ,  2H045CB24 ,  2H045DA22 ,  2H097AA03 ,  2H097AB05 ,  2H097BA01 ,  2H097CA17 ,  2H097EA01 ,  2H097JA01 ,  2H097LA09 ,  2H097LA10