特許

J-GLOBAL ID：200903077444725204

アクチュエータ、インクジェット式記録ヘッド及びインクジェットプリンタ

発明者： 角 浩二
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-136066
公開番号（公開出願番号）：特開2000-326507
出願日： 1999年05月17日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：

【要約】【課題】 従来の圧電アクチュエータよりも変位量が大きく、駆動特性に優れたアクチュエータを提供する。【解決手段】 本発明のアクチュエータ(13)は、膜内部に生じた応力に起因して結晶構造が相転移し、歪みを生じる相転移膜(8)と、逆圧電効果により圧電歪みを生じ、相転移膜(8)に応力を与える圧電体膜(7)との積層構造を有する。圧電体膜(7)は電圧の印加により圧電歪みを生じ、このときの歪みによって相転移膜(8)に応力が掛かる。かかる応力により相転移膜(8)は結晶構造が相転移するため、体積変化が生じる。相転移膜(8)の体積変化は効率良く縦歪みに変換できるため、従来の圧電アクチュエータよりも大きな変位を得ることができる。

請求項（抜粋）：

膜内部に生じた応力に起因して結晶構造が相転移し、歪みを生じる相転移膜と、逆圧電効果により圧電歪みを生じ、前記相転移膜に応力を与える圧電体膜との積層構造を有するアクチュエータ。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/08 J

Fターム (13件)：

2C057AF03 ,  2C057AF52 ,  2C057AG14 ,  2C057AG44 ,  2C057AG49 ,  2C057AG93 ,  2C057AG94 ,  2C057AM03 ,  2C057AM16 ,  2C057AR08 ,  2C057AR16 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平2-244778
  
• 特開平3-011516
  
• インクジェット記録用ヘッド及びその駆動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-346510   出願人：株式会社リコー