特許

J-GLOBAL ID：200903077444732561

電気化学検出器及びその製造方法

発明者： 丹羽 修 ,  森田 雅夫 ,  田部井 久男 ,  橋本 和子
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社 ,  エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社
代理人 (1件)： 雨宮 正季
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-132605
公開番号（公開出願番号）：特開平9-292360
出願日： 1996年04月30日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 炭素薄膜の密着性が良好で、研磨により再生し容易に応答を回復させることができ、また従来の機械加工で作製する電極では困難な微小な任意の形状の電極を集積、アレイ化することができる電気化学検出器及びその製造方法を提供する。【解決手段】 電気化学検出器は表面が絶縁性基板11+12上に形成した導電性炭素薄膜14より作製した薄膜型の電気化学検出器において、その各薄膜14電極が、絶縁性基板11+12に表面のみを出して埋め込まれ、基板面と電極面が平坦化されていることを特徴とし、製造方法は絶縁性基板に電極パタンを凹型に加工したのち、熱CVD法などで堆積あるいは高分子を凹部に注入し炭化する方法で炭素膜を形成し、平坦化する。

請求項（抜粋）：

表面が絶縁性の基板上に形成した導電性炭素薄膜より作製した薄膜型の電気化学検出器において、その各薄膜電極が、絶縁性基板に表面のみを出して埋め込まれ、基板面と電極面が平坦化されていることを特徴とする電気化学検出器。

IPC (3件)：

G01N 27/30 ,  G01N 27/28 321 ,  G01N 30/64

FI (3件)：

G01N 27/30 B ,  G01N 27/28 321 F ,  G01N 30/64 C

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平4-136748
  
• カーボン微小電極の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-197632   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開昭63-300954
  

審査官引用 (3件)

• 特開平4-136748
  
• カーボン微小電極の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-197632   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開昭63-300954