特許

J-GLOBAL ID：200903077449399186

環境変化検出素子およびその製造方法

発明者： 岡山 義昭
出願人/特許権者： 能美防災株式会社
代理人 (1件)： 佐々木 宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-055425
公開番号（公開出願番号）：特開平5-256823
出願日： 1992年03月13日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】【目的】 対向する2つの電極間に電圧を印加して空気をイオン化し、得られるイオン電流の変化から大気の環境の変化を検出する素子を、印加電圧を低く抑えることができ、かつ小形にした構造のものとする。【構成】 表面に孔2を有しこの孔を含んで少なく共表面がSiO2 膜の絶縁体からなる素子基板の孔2の上部に突出するように絶縁体面に設けられた2つの電極と、この電極のうちすくなく共正電極4aの先端は尖鋭なエッジとなっていて、対向する正電極4aと負電極4b間のギャップが数μmである構造からなる。

請求項（抜粋）：

2個の電極を対向・配置し、その間に電圧を印加して大気をイオン化し、そのイオン電流の変化から大気状態による環境変化を検出する環境変化検出素子であって、表面に孔を有し、この孔を含む少なく共表面が絶縁体からなる素子基板と、この素子基板の前記孔の上部に突出するように前記絶縁体の面に設けられ、前記孔のほぼ中心部で対向する前記2個の電極とを有し、対向する前記2個の電極の間隔が数μm〜10数μmであるように構成したことを特徴とする環境変化検出素子。