特許
J-GLOBAL ID：200903077462770888
In-situ試料前処理機能を備えた走査電子顕微鏡
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-200062
公開番号（公開出願番号）：特開2000-030650
出願日： 1998年07月15日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：
【要約】【課題】試料表面の操作により、仕事関数を下げ、二次電子発生効率を向上させること。【解決手段】試料表面にアルカリ金属などを付着させ試料表面の仕事関数を下げることにより、表面構成元素ごとの仕事関数差を大きくし原子番号コントラストを強調させる。
請求項（抜粋）：
少なくとも電子銃,コンデンサレンズ,対物レンズ,偏向系,試料支持台および像観察系より構成する走査電子顕微鏡において、試料表面近傍にアルカリ金属塩類およびアルカリ金属塩類と金属粉末を混合して加圧成形した錠剤を配置し、且つ一次電子ビーム偏向・走査用のこぎり波電圧またはのこぎり波コイル電流に周期をとった矩形状電圧または矩形状コイル電流をのこぎり波ピーク値近傍に同期重畳印加し、一次電子ビームが該加圧成形錠剤を衝撃できるようにし、電子衝撃脱離(ESD)イオンまたは熱電離原子が試料表面に注入または付着するようにしたことを特徴とするIn-situ試料前処理機能を備えた走査電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/20
, G01N 1/36
, H01J 37/147
H01J 37/20 F
, H01J 37/147 B
, G01N 1/28 R
5C001AA08
, 5C001BB06
, 5C001CC04
, 5C033FF03
, 5C033FF10
, 5C033UU01
, 5C033UU03
