特許
J-GLOBAL ID：200903077468663269
プローブ、プローブホルダ、プローブとプローブホルダとの組み合わせおよび走査型顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-295939
公開番号（公開出願番号）：特開平5-133738
出願日： 1991年11月12日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：
【要約】【目的】プローブの交換を短時間で容易に行うことができる走査型顕微鏡のプローブおよびプローブホルダを提供する【構成】可撓性のカンチレバー部と探針とを有する1以上のプローブと、前記プローブを保持するためのプローブホルダとにおいて、前記プローブホルダは、前記プローブを一方向にのみ可動にする案内部を有し、前記プローブは前記案内部に嵌合する嵌合部を有することを特徴とするプローブおよびプローブホルダ。
請求項（抜粋）：
可撓性のカンチレバー部と探針とを有する1以上のプローブと、前記プローブを保持するためのプローブホルダとの組み合わせにおいて、前記プローブホルダは、前記プローブを一方向にのみ可動にする案内部を有することを特徴とするプローブとプローブホルダとの組み合わせ。
IPC (2件)：
引用特許：
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