特許
J-GLOBAL ID:200903077471915538
積層型圧電素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-241339
公開番号(公開出願番号):特開2000-077733
出願日: 1998年08月27日
公開日(公表日): 2000年03月14日
要約:
【要約】【課題】高温下でも信頼性の高い圧電素子を提供することである。【解決手段】圧電性を有する圧電材と導電性を有する導電材を交互に積層一体化してなる積層型圧電素子において、積層方向に垂直な側面に応力緩和層を形成したことを特徴とする積層型圧電素子。【効果】本発明の構造を用いることにより、高温下でも信頼性の高い圧電素子を提供することができる。
請求項(抜粋):
圧電性を有する圧電材と導電性を有する電極を交互に積層してなる積層型圧電素子において、積層方向に垂直な側面に応力緩和層を形成したことを特徴とする積層型圧電素子。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L 41/08 S
, G01L 1/16 C
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