特許
J-GLOBAL ID：200903077472141293
電位測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-127558
公開番号（公開出願番号）：特開平6-313782
出願日： 1993年05月28日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：
【要約】【目的】この発明は、微小な領域の表面電位の測定を可能にすることを目的とする。【構成】 この発明は、少なくとも電位測定面2に対向する部分に絶縁性物質1aが付いた導電性の測定プローブ1と、この測定プローブ1と電気的に導通しているダミー電極3と、電位測定面2に測定プローブ1が接近した際にダミー電極3に現われる電位を測定する表面電位計5とを備えたものである。
請求項（抜粋）：
少なくとも電位測定面に対向する部分に絶縁性物質が付いた導電性の測定プローブと、この測定プローブと電気的に導通しているダミー電極と、電位測定面に前記測定プローブが接近した際に前記ダミー電極に現われる電位を測定する表面電位計とを備えたことを特徴とする電位測定装置。
IPC (3件)：
G01R 29/12
, G01R 19/00
, G03G 15/00 303
