特許
J-GLOBAL ID：200903077476170565

被加工物の加工方法

発明者：
高橋 敏昭

高橋 敏昭 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-099532
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299295
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：
【要約】【課題】 フレームに貼着された粘着テープに貼着された被加工物に加工を施す場合において、粘着テープにコンタミが付着することに起因して被加工物が汚染されるのを防止し、品質を低下させないようにする。【解決手段】 リング状のフレーム30の開口部30aを塞ぐようフレーム30に貼着された粘着テープ31の粘着面31aに被加工物W1を貼着することにより、粘着テープ31を介してフレーム30と一体となった被加工物W1に所定の加工を施す被加工物の加工方法であって、粘着テープ31には、紫外線を照射することによって粘着力が低下して硬化する粘着糊がシート部材の表面に塗布されて粘着面を構成するUV硬化型粘着テープを使用し、UV硬化型粘着テープの粘着面31aに紫外線を照射することにより、粘着面31aのうち、フレーム及び被加工物が貼着されていない空き領域の粘着力を低下させて硬化させ、その後に被加工物を加工することとする。
請求項（抜粋）：
リング状のフレームの開口部を塞ぐよう該フレームに貼着された粘着テープの粘着面に被加工物を貼着することにより、該粘着テープを介して該フレームと一体となった該被加工物に所定の加工を施す被加工物の加工方法であって、粘着テープとして、紫外線を照射することによって粘着力が低下して硬化する粘着糊がシート部材の表面に塗布されて粘着面を構成するUV硬化型粘着テープを使用し、該UV硬化型粘着テープの該粘着面に紫外線を照射することにより、該粘着面のうち、該フレーム及び該被加工物が貼着されていない空き領域の粘着力を低下させて硬化させ、その後に該被加工物を加工する被加工物の加工方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 622 ,  H01L 21/301
FI (2件)：
H01L 21/304 622 J ,  H01L 21/78 M
引用特許：
審査官引用 (5件)
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