特許

J-GLOBAL ID：200903077480461540

ワイヤーソーによるワーク切断加工方法

発明者： 横堀 義一
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 高 雄次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-033824
公開番号（公開出願番号）：特開平11-216656
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】 ワイヤーソーによるワークの切断加工時、ワークの発熱を抑えて、ワークの変形や切断加工品の変形を防止し、精度の高い切断加工品を得る。【解決手段】 ワイヤーソーによるワークの切断加工において、加工中のワークに冷却用エアーを吹き付け、加工時の発熱を抑えて、高精度の加工を行う。

請求項（抜粋）：

ワイヤーソーによるワーク切断加工において、加工中のワークに冷却用エアーを吹き付け、加工時の発熱を抑えて、高精度加工を行うことを特徴とするワイヤーソーによるワーク切断加工方法。

IPC (4件)：

B24B 27/06 ,  B28D 5/04 ,  B28D 7/02 ,  H01L 21/304 611

FI (4件)：

B24B 27/06 D ,  B28D 5/04 C ,  B28D 7/02 ,  H01L 21/304 611 W