特許
J-GLOBAL ID：200903077486212592
クリーンルームにおける気流安定化装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-172741
公開番号（公開出願番号）：特開平7-004709
出願日： 1993年06月18日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】【目的】 クリーンルーム内に障害物等が出現しても、空気流の層流状態を維持し、常に高い清浄度に保持する気流安定化装置を提供する。【構成】 クリーンルーム1の天井部2から、クリーンルーム1の室内へ空気を送り込むと共に、該室内の空気をその床部5から強制的に吸引するようにしたものである。特に床部5の適所に設けたファン9によって、クリーンルーム1内の空気を吸引すると共に、クリーンルーム1内の風量に応じてファン9の吸引力が制御される。ファン9によって吸い込まれる空気流量を計測する風量計測装置10と、ファン9の回転数を制御する制御装置11と、を備えている。風量計測装置10の計測結果が入力された制御装置11により、ファン9の回転数が制御される。
請求項（抜粋）：
クリーンルームの天井部から、その室内へ空気を送り込むと共に、該室内の空気をその床部から強制的に吸引するようにしたことを特徴とするクリーンルームにおける気流安定化装置。
IPC (2件)：
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