特許
J-GLOBAL ID：200903077488962181
周辺露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-065090
公開番号（公開出願番号）：特開平5-267160
出願日： 1992年03月23日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：
【要約】【目的】 角形基板上の周辺部だけではなく、本来のマスクパターン露光領域以外の任意の領域についても周辺露光することが可能であり、しかも、スループットの低下が少ない角型基板用の周辺露光装置を提供する。【構成】 本来のマスクパターンの露光を行なう露光装置の露光用ステージ(ST)に向けて角型基板(PG)の搬送を行なう搬送手段(10,12,14,16,18)と、その搬送手段による角型基板の搬送路の途中に、角型基板上に任意の大きさの露光領域(SP)を形成できる周辺露光光学系(24A,24B,30)とを設けた。
請求項（抜粋）：
露光装置により角形基板上に形成される所定のマスクパターンの露光領域外を露光する周辺露光装置において、該周辺露光装置は、基板保管部から前記露光装置の露光用ステージに向けて前記角形基板を1次元的に搬送する1次元搬送機構と前記角形基板をほぼ90°回転させる回転機構とを含む搬送手段と、該搬送手段により前記角形基板が1次元的に搬送される搬送路中に、前記角形基板上の前記所定のマスクパターンの露光領域外を局所的に露光する周辺露光光学系とを有し、該周辺露光光学系は、露光光を供給する光源と、該光源からの光を前記角形基板へ導くためのライトガイド手段と、該ライトガイド手段の射出端面を前記角形基板上に投影する倍率可変な投影光学系と、該投影光学系と前記射出端面とを一体に前記1次元搬送機構による搬送方向と直交する方向に移動させる露光位置変更手段とを有することを特徴とする周辺露光装置。
引用特許：
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