EPMA装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長南満輝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-320268
公開番号（公開出願番号）：特開2007-127511
出願日： 2005年11月04日
公開日（公表日）： 2007年05月24日
要約：

【課題】 EPMA装置の検出感度を増大する。【解決手段】試料台3上の試料2と分光結晶8との間にはX線集光手段としてのフレネルゾーンプレート9が設けられている。そして、フィラメント5から加速されて放出された電子線6が試料台3上の試料2表面に照射されると、試料2表面領域から特性X線11が発生する。この発生した特性X線11は、フレネルゾーンプレート9により集光されて分光結晶8に入射され、分光結晶8で分光され、X線検出器10に入射される。この場合、X線集光手段としてのフレネルゾーンプレート9を用いているので、分光結晶8に入射される特性X線量が増加し、検出感度を増大することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

加速された電子線が照射された試料表面領域から発生する特性X線を分光してX線検出器で検出するEPMA装置において、前記試料表面領域から発生する特性X線を集光するためのX線集光手段を有することを特徴とするEPMA装置。

IPC (2件)：

G01N 23/225 , G21K 1/06

FI (3件)：

G01N23/225 , G21K1/06 F , G21K1/06 B

Fターム (7件)：

2G001AA03 , 2G001BA05 , 2G001CA01 , 2G001EA01 , 2G001EA05 , 2G001EA20 , 2G001SA02

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開平4-285847号公報

審査官引用 (4件)

蛍光X線分光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-163056 出願人：日本電信電話株式会社
元素別X線蛍光顕微鏡および動作の方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-509399 出願人：エクスレイディア・インコーポレイテッド
特開昭61-088200

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