特許
J-GLOBAL ID：200903077512309460
回折格子を用いた位置ずれ量測定方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-078355
公開番号（公開出願番号）：特開平6-288710
出願日： 1993年04月05日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】 高精度、高安定かつ容易に回折格子間の相対的な位置ずれ量を検出することができ、しかも、X線マスクによる制約のない回折格子を用いた位置ずれ量測定方法及びその装置を提供する。【構成】 周波数の異なる2波長の単色光を、該単色光を透過する窓24を透過させた後に被測定物12の同一平面上に設けられた第1回折格子H1及び第2回折格子H2各々に入射し、これらの回折格子から生じる2つの回折光を光ヘテロダイン干渉させて2つの光ヘテロダイン干渉合成回折光を発生させ、これらの合成回折光を基に第1回折格子H1及び第2回折格子H2各々に対応する第1及び第2光ヘテロダイン干渉ビート信号を発生させ、これらのビート信号間の位相差から位相ずれ量を求めることにより、第1の回折格子H1に対する第2の回折格子H2の位置ずれ量を求める。
請求項（抜粋）：
周波数の異なる2波長からなる単色光を、該単色光を透過する窓を透過させた後に、被測定物の同一平面上に設けられた第1の回折格子及び第2の回折格子各々に入射し、これらの回折格子から生じる2つの回折光を光ヘテロダイン干渉させて2つの光ヘテロダイン干渉合成回折光を発生させ、これらの光ヘテロダイン干渉合成回折光を基に前記第1の回折格子及び第2の回折格子各々に対応する光ヘテロダイン干渉ビート信号を発生させ、この第1の光ヘテロダイン干渉ビート信号と第2の光ヘテロダイン干渉ビート信号との間の位相差を求め、該位相差から位相ずれ量を求めることにより、前記第1の回折格子に対する第2の回折格子の位置ずれ量を求めることを特徴とする回折格子を用いた位置ずれ量測定方法。
IPC (3件)：
G01B 11/00
, G02B 5/18
, H01L 21/027
