特許

J-GLOBAL ID：200903077512405167

距離計測装置

発明者： 田坂 博明
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立マイコンシステム
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-156848
公開番号（公開出願番号）：特開平8-021705
出願日： 1994年07月08日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【目的】 光を用いて被測定物との距離を計測する距離計測装置において、前記被測定物の表面の状況に影響されずに誤検出や読み取り誤差を低減させる距離計測装置を提供する。【構成】 光1aを発する光源1bからなる計測系1と、被測定物である半導体ウェハ3などの表面からの反射光2aを受光する検出部2bからなる検出系2とから構成され、前記光1aを複数発生させる複数光路発生手段が設けられ、前記複数光路発生手段は光源1bを2個設けることであり、一方の光源1bに対して180°反対の方向に他方の光源1bを設け、両方の光源1bから半導体ウェハ3の表面上の同一の計測箇所に光1aを照射し、該2つの光1aによる反射光2aから得られる2個の計測値を合成した値を真の計測値とするものである。

請求項（抜粋）：

光を被測定物の表面に照射し、その反射光の光路変化を検出することにより、前記被測定物との距離を計測する距離計測装置であって、前記光を発する光源からなる計測系と、前記反射光を受光する検出部からなる検出系とから構成され、前記光を複数発生させる複数光路発生手段が設けられ、前記複数光路発生手段によって前記被測定物の表面に照射される複数の光の反射光から得られる複数の計測値を合成した値を真の計測値とすることを特徴とする距離計測装置。