特許

J-GLOBAL ID：200903077512955710

オゾン発生装置

発明者： 折島 寛
出願人/特許権者： 住友精密工業株式会社
代理人 (1件)： 生形 元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-110125
公開番号（公開出願番号）：特開平9-278407
出願日： 1996年04月05日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：

【要約】【課題】 半導体の製造に適した高純度のオゾンガスを簡単に生成する。【解決手段】 誘電体20,20を挟んで対向配置した2枚の円板型電極10a,10bにより円形の放電空隙40を形成する。スペーサを兼ねる環状のシール部材30により放電空隙40の周囲を全周にわたって封止して、放電空隙40をクローズドタイプとなす。放電空隙40に管路50aを介して外周部から原料ガスを導入し、放電空隙40の中心部からオゾンガスを導出する。

請求項（抜粋）：

誘電体を挟んで対向配置した2枚の円板型電極により円形の放電空隙を形成すると共に、スペーサを兼ねる環状のシール部材により放電空隙の周囲を全周にわたって封止して前記放電空隙をクローズドタイプとなし、該放電空隙内に管路を介して外周部から原料ガスを導入し、放電空隙の中心部からオゾンガスを導出することを特徴とするオゾン発生装置。