特許

J-GLOBAL ID：200903077526186735

薄膜磁気ヘッド及び磁気ディスク記録再生装置

発明者： 東 和文 ,  天辰 篤志
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 薄田 利幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-280763
公開番号（公開出願番号）：特開平9-128708
出願日： 1995年10月27日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】良好な耐磨耗性、耐腐食性を有する薄膜磁気ヘッドを提供すること。【解決手段】保護膜成膜途中に中断して水素プラズマ照射し、また、成膜を継続し、この操作を周期的に複数回繰り返すことにより得られる、膜厚方向に多層の高密度保護膜層を有する積層膜をヘッド浮上面保護膜として用いる。

請求項（抜粋）：

磁気ヘッドスライダの磁気ディスク対向面に、水素化非晶質炭素系材料の積層膜を保護膜として形成してなる磁気ヘッドであって、積層された保護膜の密度が、膜厚方向に周期的に変化した部分を有して成る薄膜磁気ヘッド。

IPC (6件)：

G11B 5/31 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/50 ,  G11B 5/187 ,  G11B 5/255 ,  G11B 5/60

FI (6件)：

G11B 5/31 D ,  C23C 14/06 F ,  C23C 16/50 ,  G11B 5/187 K ,  G11B 5/255 ,  G11B 5/60 Z