特許
J-GLOBAL ID：200903077532745754

積層膜一括エッチング液およびこれを用いた電極形成方法

発明者：
根本 明彦

根本 明彦 について


出願人/特許権者：
エプソントヨコム株式会社

エプソントヨコム株式会社 について


代理人 (1件)： 村上 友一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-113912
公開番号（公開出願番号）：特開2008-266748
出願日： 2007年04月24日
公開日（公表日）： 2008年11月06日
要約：
【課題】圧電基板上にNi下地層を介してAg電極膜を乗せた多層膜を選択エッチングすることなく、1液のまま一括エッチングすることができるエッチング液と水晶フィルタの電極形成方法を提供する。【解決手段】エッチング液をリン酸、硝酸、純水から構成し、エッチング液の全体積に対するリン酸の体積比率をX(%)、硝酸の体積比率をY(%)、純水の体積比率をZ(%)としたときに、41<X≦55、0<Y≦5、43≦Z<58、(ただし、X+Y+Z=100)となるように配合することを特徴とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
少なくとも二層の金属膜からなる積層膜を一括してエッチングするエッチング液であって、 前記エッチング液はリン酸、硝酸、純水から構成され、エッチング液の全体積に対するリン酸の体積比率をX(%)、硝酸の体積比率をY(%)、純水の体積比率をZ(%)としたとき、41<X≦55、0<Y≦5、43≦Z<58、(ただし、X+Y+Z=100)となるように配合することを特徴とした積層膜一括エッチング液。
IPC (2件)：
C23F 1/30 ,  C23F 1/28
FI (2件)：
C23F1/30 ,  C23F1/28
Fターム (11件)：
4K057WA10 ,  4K057WB01 ,  4K057WB03 ,  4K057WB15 ,  4K057WE02 ,  4K057WE04 ,  4K057WG02 ,  4K057WG03 ,  4K057WM03 ,  4K057WN02 ,  5J108MM14
引用特許：
出願人引用 (1件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM