特許
J-GLOBAL ID:200903077534589547
定盤面修正用ドレッシング装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
吉村 博文
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-330378
公開番号(公開出願番号):特開平10-151562
出願日: 1996年11月25日
公開日(公表日): 1998年06月09日
要約:
【要約】【目的】 ポリッシングマシンによるポリッシングの進行と共に、ポリッシングマシン定盤の形状を修正できる定盤面修正用ドレッシング装置を提供する。【解決手段】 セラミックスをポリッシュするためのポリッシングマシンにおいて、該セラミックスをポリッシュする定盤の上に、別の定盤を付設し、該付設定盤の上で遊離砥粒による修正ブロックのドレッシングを行う手段を有する。
請求項(抜粋):
セラミックスをポリッシュするためのポリッシングマシンにおいて、該セラミックスをポリッシュする定盤の上に、別の定盤を付設し、該付設定盤の上で遊離砥粒による修正ブロックのドレッシングを行うことを特徴とする定盤面修正用ドレッシング装置。
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