走査光学装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丸島儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-017539
公開番号（公開出願番号）：特開平5-346549
出願日： 1993年02月04日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：

【要約】【目的】収束光束をポリゴンに入射させる走査光学装置で起こるポリゴンの回転によるミラー面の前後移動によるfθ特性の走査光学装置の収差の悪化を補正する。【構成】光源と、該光源から出射された光束を収束光束に変換する第1の光学系と、この第1の光学系から出射された収束光束を偏向走査する偏向器と、この偏向走査された収束光束を被走査面上にスポット状に結像させる第2の光学系を具備するような走査光学装置で、前記第2の光学系の主走査方向の対称軸が前記被走査面の法線に対して主走査面内で傾きをもっていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光源と、前記光源から出射した光束を収束光束に変換する第1光学系と、前記第1光学系から出射した光束を偏向する偏向器と、前記偏向器により偏向された収束光束を被走査面上にスポット状に結像させる第2光学系とを有し、前記第2光学系の主走査方向の対称軸が前記被走査面の法線に対して主走査断面内で傾いていることを特徴とする走査光学装置。

IPC (2件)：

G02B 26/10 , G02B 26/10 102

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平1-211718
特開平2-079760
特開昭57-144518

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