特許
J-GLOBAL ID：200903077553075830
光学式膜厚モニター
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武田 元敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-267597
公開番号（公開出願番号）：特開平5-106040
出願日： 1991年10月16日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：
【要約】【目的】 モニター基板の位置変換機構と光路を確保して真空槽内に収容できる小形の光学式膜厚モニターを提供する。【構成】 光ファイバー先端部24,ステッピングモータ33,モニター基板21を収容する筐体36に設けたモニター窓34を通して、真空槽25内で蒸発源31からの蒸発粒子がモニター基板21上に飛来して付着する成膜の膜厚を検知するためにモニター基板への光の入出力を光導入部と光導出部の一端を束ねた光ファイバー20の光ファイバー先端部24で行うようにした。
請求項（抜粋）：
光源からの入射光をモニター基板上に導入する光導入部と、反射光を導出する光導出部と、前記光導入部と前記光導出部の一端を束ねて前記モニター基板上からの入射光と反射光を送受する光ファイバー先端部と、ステッピングモータのモータ回転軸に直接固定されたモニター基板と、前記光ファイバー先端部,ステッピングモータ,モニター基板を収容する筐体と、該筐体の壁に開口するモニター窓とを備え、前記光ファイバー先端部の先端面はモニター基板と対面して平行に配置されることを特徴とする光学式膜厚モニター。
IPC (2件)：
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