特許
J-GLOBAL ID：200903077553722029
圧電/電歪アクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 三千雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-087997
公開番号（公開出願番号）：特開平6-040035
出願日： 1993年03月22日
公開日（公表日）： 1994年02月15日
要約：
【要約】【目的】 製造性が良く、他部材に対する接合面におけるシール性を容易に且つ安定して確保することのできる圧電/電歪アクチュエータを提供する。【構成】 基体内部に形成された加圧室の壁部の一部を圧電/電歪素子によって変形させるようにした圧電/電歪アクチュエータ45において、少なくとも一つの窓部76が設けられたスペーサプレート70と、閉塞プレート66と、前記窓部に対応した位置に第一の連通用開口部72が設けられた接続プレート68とを、それぞれグリーンシートにて積層形成し、一体焼成せしめてなるセラミックス基体44により、前記基体を構成すると共に、前記閉塞プレートの外面上に膜形成法によって形成された電極75,77および圧電/電歪層79からなる圧電/電歪作動部により、前記圧電/電歪素子78を構成した。
請求項（抜粋）：
基体内部に形成された加圧室の壁部の一部を、圧電/電歪素子によって変形させて、該加圧室に圧力を生ぜしめるようにした圧電/電歪アクチュエータにおいて、少なくとも一つの窓部が設けられたスペーサプレートと、該スペーサプレートの一方の側に重ね合わされて前記窓部を覆蓋する閉塞プレートと、該スペーサプレートの他方の側に重ね合わされて前記窓部を覆蓋する、前記窓部に対応した位置に開口部が設けられた接続プレートとを、それぞれグリーンシートにて積層形成し、一体焼成せしめてなるセラミックス体により、前記基体を構成すると共に、前記閉塞プレートの外面上に膜形成法によって形成された電極および圧電/電歪層からなる圧電/電歪作動部により、前記圧電/電歪素子を構成したことを特徴とする圧電/電歪アクチュエータ。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/09
B41J 3/04 103 A
, H01L 41/08 C
