特許

J-GLOBAL ID：200903077555611860

センサー機能を有するアクチュエータ

発明者： 福田 武人 ,  木村 隆幸 ,  橋本 和生
出願人/特許権者： 宇部興産株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-056566
公開番号（公開出願番号）：特開平10-257785
出願日： 1997年03月11日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】 構造物の歪みを検出し、変位、応力、振動などを測定することができると同時に歪みに対応した動きをするセンサー機能を有するアクチュエータを提供することを課題とする。【解決手段】 基板上に設けられたチタン金属面上に水熱合成法により圧電結晶膜が形成されており、さらに前記圧電結晶膜上に電圧駆動用の電極と歪み検知用の電極とが付与されているセンサー機能を有するアクチュエータに関する。

請求項（抜粋）：

基板上に設けられたチタン金属面上に水熱合成法により圧電結晶膜が形成されており、さらに前記圧電結晶膜上に電圧駆動用の電極と歪み検知用の電極とが付与されていることを特徴とするセンサー機能を有するアクチュエータ。

IPC (3件)：

H02N 2/00 ,  G01L 1/16 ,  H01L 41/08

FI (3件)：

H02N 2/00 B ,  G01L 1/16 ,  H01L 41/08 Z