特許
J-GLOBAL ID：200903077556995581
半導体装置およびその作製方法および電気光学装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-339162
公開番号（公開出願番号）：特開平8-186267
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】 アクティブマトリクス型の液晶表示装置において、機械的にフレキシブルでしかも軽量化された構成を得る。【構成】 アクティブマトリクス型の液晶表示装置を構成する一対の基板301と302を透光性および可撓性を有する樹脂基板で構成する。また一方の樹脂基板上に薄膜トランジスタ305を形成する。また成膜の際における樹脂基板表面におけるオリゴマー発生防止、および樹脂基板表面の平坦化のために樹脂層303を形成する。
請求項（抜粋）：
フィルム状の樹脂基板と、前記樹脂基板の表面に形成された樹脂層と、前記樹脂層上に形成された薄膜トランジスタと、を有することを特徴とする半導体装置。
IPC (2件)：
H01L 29/786
, G02F 1/136 500
