特許
J-GLOBAL ID：200903077559888549
移動体の直進精度測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-218114
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055422
出願日： 1993年08月10日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 移動体の直進精度を正確に測定する。【構成】 Z軸方向に往復移動を行う移動台1は、Z軸方向に離間した位置に一対の折曲げミラー2,3を有し、両折曲げミラー2,3はそれぞれZ軸に対して45度の傾斜角で配設されている。両折曲げミラー2,3は互に逆向きのレーザビームL1 ,L2 を照射し、その反射光を各ビーム位置検出素子6,7によって受光させ、その受光点の変位をX軸方向の成分とY軸方向の成分に分けて検出し、これらを加算あるいは減算することで移動台1のX軸、Y軸方向の位置ずれや、ピッチング、ヨーイングを算出する。
請求項（抜粋）：
直線状の移動路に沿って移動する移動体の前記移動路に沿って互に離間した部位にそれぞれ一体的に設けられた一対の受光面と、両受光面に、前記移動路に沿って互に逆向きの照明光をそれぞれ照射する照明手段と、各受光面の受光点の変位を検出する検出手段からなる移動体の直進精度測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/00
, G01B 11/26
, G01B 11/30 101
