光計測システム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-274123
公開番号（公開出願番号）：特開2002-082045
出願日： 2000年09月08日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
要約：

【要約】【課題】 1台の周波数コム発生器を用いた簡単な構成で短時間に且つ安定に空間的高分解能な測定を行う。【解決手段】可干渉性を有する光L0 を出射する光源であるレーザ光源11と、このレーザ光源11からレーザ光L0 が入射される光周波数コム発生器12と、この光周波数コム発生器12に与える変調信号SMOD を発生する変調信号発生器13と、参照光LREF と物体光LOBの分離・合成を行う光分離・合成器14と、上記光分離・合成器14により分離された参照光LREF に所定時間τの遅延を与える光遅延路15と、上記光分離・合成器14により合成された参照光LREFと物体光LOBとの干渉による光強度の変化を検出する光検出器16とからなる。

請求項（抜粋）：

可干渉性を有する光を出射する光源と、第1の期間τ1 には第1の周波数fm で第2の期間τ2 には第2の周波数fm+Δfの変調信号を所定の繰り返し周期で生成する変調信号生成手段と、上記変調信号生成手段からの変調信号により上記光源からの入射光を変調して、入射光の周波数を中心周波数とし、上記第1の期間τ1 には第1の周波数fm間隔毎に側帯波を有し、第2の期間τ2 には第2の周波数fm +Δf間隔毎に側帯波を有する計測光を生成する光周波数コム発生手段と、上記光周波数コム発生手段からの計測光を参照光と物体光に分離する光分離手段と、上記光分離手段により分離された参照光又は物体光の一方に所定時間の遅延を与える光遅延手段と、上記物体光の測定対象物による反射光又は透過光と上記参照光とを合成する光合成手段と、上記光合成手段により合成された上記参照光と物体光との干渉による光強度の変化を検出する検出手段とを備えることを特徴とする光計測システム。

IPC (4件)：

G01N 21/17 630 , A61B 10/00 , G01B 9/02 , G01B 11/00

FI (4件)：

G01N 21/17 630 , A61B 10/00 E , G01B 9/02 , G01B 11/00 G

Fターム (40件)：

2F064AA15 , 2F064CC04 , 2F064FF01 , 2F064GG02 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064GG51 , 2F064GG55 , 2F064GG70 , 2F064JJ03 , 2F064JJ15 , 2F065AA52 , 2F065BB05 , 2F065CC16 , 2F065DD03 , 2F065FF51 , 2F065GG04 , 2F065JJ01 , 2F065LL02 , 2F065LL12 , 2F065LL53 , 2F065LL57 , 2F065MM16 , 2F065MM26 , 2F065NN08 , 2F065QQ03 , 2F065QQ16 , 2F065QQ29 , 2G059AA05 , 2G059EE09 , 2G059FF01 , 2G059GG01 , 2G059GG06 , 2G059JJ11 , 2G059JJ13 , 2G059JJ17 , 2G059JJ30 , 2G059KK01 , 2G059MM01 , 2G059MM09

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