特許
J-GLOBAL ID：200903077575149993
誘電体セル及びそのセルを用いたオゾナイザ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅川 哲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-180961
公開番号（公開出願番号）：特開平6-024707
出願日： 1992年07月08日
公開日（公表日）： 1994年02月01日
要約：
【要約】【目的】 放電空間を形成する一対の誘電体の隙間寸法を一定の値に保持すること、及び放電空間内に接着剤などからの不純物ガスが侵入するのを防止してクリーン度の高いオゾンガスを安定的に供給する【構成】 2枚の石英ガラス11,12によって構成され、少なくとも一方の石英ガラス11には原料ガスの流路13を構成する溝部が刻設され、この溝部が刻設されている面と他方の石英ガラス12の面とが光学接着により一体に接合され、その接合面に原料ガスの流路13が形成されている。
請求項（抜粋）：
誘電材料からなる2枚の板材によって構成され、少なくとも一方の板材には原料ガスの流路を構成する溝部が刻設され、この溝部が刻設されている面と他方の板材の面とが光学接着により一体に接合され、その接合面に前記溝部による原料ガスの流路が形成されていることを特徴とする誘電体セル。
IPC (2件)：
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