特許
J-GLOBAL ID：200903077582421291
フローセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-168424
公開番号（公開出願番号）：特開平9-021668
出願日： 1995年07月04日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：
【要約】【課題】 高性能なフローセンサを得る。【解決手段】 流体の流動方向に直角な第一の発熱部42と平行な第二の発熱部43とを、薄膜支持体25,26と薄膜ヒータ44,45と薄膜温度センサ47,48との積層構造により形成し、これらの各々を最適な材料で形成した。
請求項（抜粋）：
一個の基板に第一の空洞と第二の空洞とを形成し、細長い第一の発熱部を長手方向が流体の流動方向と略直角となるよう第一の空洞上に形成し、細長い第二の発熱部を長手方向が流体の流動方向と略直角となるよう第二の空洞上に形成し、流体の流動により前記第一の発熱部と前記第二の発熱部とに発生する温度差に基づいて流体の流量や流速を検出するフローセンサにおいて、前記第一の発熱部と前記第二の発熱部とを薄膜支持体と薄膜ヒータと薄膜温度センサとの積層構造により形成したことを特徴とするフローセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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