特許

J-GLOBAL ID：200903077587033575

ICハンドラ装置のICコンタクト部

発明者： 竹下 覚
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-211255
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033520
出願日： 1999年07月26日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】DUTを電気的にコンタクトする測定部の構造において、コンタクト状態における機械的な接触位置関係を外部から直接的に確認可能な可視化構造を備えるICハンドラ装置のICコンタクト部の構造を提供する。【解決手段】被試験デバイスのICリードを対応する接触子へ電気的にコンタクトするICハンドラ装置のICコンタクト部において、DUTのICリードの配列に対応する位置に対応して備える接触子とICリードとに対し、コンタクト状態における両者の機械的な接触位置関係を外部から確認可能若しくは撮像装置を介して得た映像表示により確認可能、とする可視化構造を備えるICハンドラ装置のICコンタクト部。

請求項（抜粋）：

被試験デバイス(DUT)のICリードを対応する接触子へ電気的にコンタクトするICハンドラ装置のICコンタクト部において、DUTのICリードの配列に対応する位置に対応して備える接触子と該ICリードとに対し、コンタクト状態における両者の機械的な接触位置関係を外部から確認可能若しくは撮像装置を介して得た映像表示により確認可能、とする可視化構造を備えることを特徴とするICハンドラ装置のICコンタクト部。

IPC (2件)：

G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 31/26 Z ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B

Fターム (15件)：

2G003AA07 ,  2G003AG01 ,  2G003AG12 ,  2G003AG13 ,  2G003AH04 ,  4M106AA04 ,  4M106AD26 ,  4M106BA11 ,  4M106CA01 ,  4M106DD23 ,  4M106DD30 ,  4M106DJ23 ,  4M106DJ34 ,  4M106DJ39 ,  4M106DJ40