特許

J-GLOBAL ID：200903077590976324

パターン検査装置

発明者： 土屋 英雄 ,  渡辺 利之 ,  高梨 正雄 ,  秀島 昌行
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  株式会社トプコン
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-010051
公開番号（公開出願番号）：特開平5-197132
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【目的】 コーナの丸まりに起因する疑似欠陥を欠陥と判定することなく、且つコーナ付近に存在する本来の欠陥を確実に検出することができ、検査精度の向上をはかり得るパターン検査装置を提供すること。【構成】 設計データをビット展開して得た基準データCに対しコーナ丸め処理を行い、丸め処理した基準データDと検査データを比較し、検査対象パターンの欠陥を検出するパターン検査装置において、コーナ丸め処理する回路を、基準データCに対しコーナ検出ウインドを走査して輪郭部パターンを抽出し、抽出した輪郭パターンに基いて丸め処理すべきコーナを検出するコーナ検出回路21と、検出したコーナ形状に応じたマスキングデータJを発生するマスキングデータ発生回路22と、基準データCの中でコーナ部を含む図形データとこれに対応するデータJとを排他的論理和処理により合成処理する図形合成回路23とから構成した。

請求項（抜粋）：

検査対象パターンから得られた検査パターンデータと、当該パターンの設計パターンデータとを比較照合して、検査対象パターンに存在する欠陥の有無を検出するパターン検査装置において、前記設計パターンデータをビットに展開するビット展開回路と、このビット展開回路によってビット展開して得られた基準パターンデータに対し、コーナパターン検出ウインドを走査して該ウインドの輪郭部パターンを抽出し、該抽出された輪郭部パターンに基づいてコーナ丸め処理すべきコーナパターンを検出するコーナパターン検出回路と、このコーナパターン検出回路により検出されたコーナパターンに応じたマスキングパターンデータを発生するマスキングパターンデータ発生回路と、前記基準パターンデータの中で前記検出されたコーナパターンを含む図形パターンデータと該図形パターンデータに対応するそれぞれのマスキングパターンデータとを合成処理して、基準パターンデータにおけるコーナ部を丸める図形合成回路と、この図形合成回路により合成された基準パターンデータと前記検査パターンデータとを比較する比較回路と、を具備してなることを特徴とするパターン検査装置。

IPC (6件)：

G03F 1/08 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G06F 11/22 310 ,  G06F 15/62 405 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-138104
  
• 特開昭61-086639