特許
J-GLOBAL ID：200903077591090044
走査電子顕微鏡用生物試料作製方法および生物試料観察方法並びに走査電子顕微鏡用生物試料作製装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-099366
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280714
出願日： 1994年04月13日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 試料の変形がない走査電子顕微鏡用生物試料作製方法及び生物試料観察方法並びに走査電子顕微鏡用生物試料作製装置を提供すること。【構成】 制御装置14は電源16に冷却信号を送る。この結果、サーモモジュール6上に位置する試料ホルダ11は冷やされ、試料12も冷やされる。制御装置14が-45°Cの時点で冷却信号の供給を停止させる制御は、前記メモリー15に記憶されたデータに基づくものである。制御装置14は試料室2の真空度を0.01Torr〜2Torrの間の低真空状態に設定する。制御装置14は電源16に加熱信号を送る。試料の加熱温度は徐々に上昇し、試料の温度が15°Cになった時点で終了する。以上の試料の処理が終了すると、前記低真空状態において試料に電子線が照射され、試料から放出される反射電子に基づいて試料像が表示装置に表示される。
請求項（抜粋）：
凍結した試料を真空引きされた試料室の中に配置し、該凍結試料を零度より高い温度まで昇温させることを特徴とする走査電子顕微鏡用生物試料作製方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 1/28 J
, G01N 1/28 K
, G01N 1/28 F
