露光方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-149278
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343285
出願日： 1992年06月09日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】素子の構造(方向性)や使用する投影光学系の結像特性に応じて、重ね合わせやつなぎ合わせ、さらにつなぎ合わせ部での重ね合わせを最適に行うことができる露光方法を提供する。【構成】露光に先立って、使用する投影光学系5による感光基板6上の投影領域内の複数の投影点(評価点)11a〜11vの位置を求めることによって投影光学系5の結像特性を求める。重ね合わせやつなぎ合わせを行う領域の評価点同士の位置のずれを求め、このずれのうち少なくとも素子の方向性に応じた方向の成分が最小となるように補正パラメータを求める。求めた補正パラメータに基づいて、レチクル4や感光基板6をシフト、回転移動する。

請求項（抜粋）：

第1の原板上のパターンの第1の像を投影光学系を介して感光基板上に露光し、第2の原板上のパターンの第2の像を前記投影光学系を介して前記第1の像に重ね合わせて露光する露光方法において、前記露光に先立って、前記投影光学系によって前記感光基板上に露光されるべき像の2次元的な位置を求め;前記2次元的な位置のうち、前記重ね合わせて露光すべき夫々の像の重ね合わせ部に対応する位置同士の偏差を求め;前記偏差が最小となるように前記原板と前記感光基板とを相対移動する、又は前記投影光学系の結像特性を変更することを特徴とする露光方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521 , G03F 9/00

FI (2件)：

H01L 21/30 311 L , H01L 21/30 311 M

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭62-024624
特開昭63-211623
特開昭64-028820

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